檢索結果:共11筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and year="99"
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採用鋁、氮共掺雜的氧化鋅已被證實為製備p型氧化鋅中一種有效的方法使用。本實驗使用溶膠-凝膠法於藍寶石(0 0 0 1)基板上製備不同濃度鋁掺雜氧化鋅薄膜,並且於氨氣氣氛下退火以獲得鋁掺雜之含氮氧化鋅…
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本研究建立以氬電漿餘輝態進行矽薄膜沉積之反應機制並進行二維沉積反應之穩態數值模擬,以計算低壓腔體內部矽薄膜成長速率。本研究共考慮17個重要物種,包含電子、質子、自由基氣體、中性氣體等,除求解流場之連…
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本研究主分為兩大部分,一、設計蒸鍍腔體內之大型遮板,其目的為改善膜厚均勻性,提高薄膜生產良率;二、線性漸變濾波片的設計,在基材上方加入擋片,使膜厚有梯度變化,達到濾波效果。 在第一部分,為使腔體內膜…
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本論文以溶膠-凝膠法製備氧化鎢奈米薄膜金半金光檢測器之光電特性研究。實驗中,氧化鎢薄膜光檢測器的暗/光電流及光響應在回火後有顯著的改善,而拒斥比可提升2個數量級,同時我們可得到氧化鎢薄膜在600℃回…
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本實驗使用反應式離子束共濺鍍Zn及Mg金屬靶沉積MgxZn1-xO薄膜,利用不同離子束電流調整x = 0 ~ 0.46,薄膜沉積於Si (100)、玻璃及石英基板。XRD量測結果中,MgxZn1-x…
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有機薄膜電晶體有兩種主要結構:(1) Bottom Contact (BC) (2) Top Contact (TC),兩者相較之下,Top Contact因較低的接觸電阻而有較佳的元件特性,但是不…
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數反應壓力及三甲基硼(TMB)摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以探求非晶…
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摘要 本研究主要目標是探討金屬玻璃基材表面改質(如鍍層、刮痕與退火處理等),改質其金屬玻璃基材四點抗彎時的張應力面,從而提高金屬玻璃塊材之彎曲韌性。 在先前研究中,在鋯基金屬玻璃塊材濺鍍厚度為200…
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摘要 利用光電化學電池(PEC cell)系統分解水產生氫氣,為提供乾淨且可再生之能源的一種新穎方法。由於太陽光中約有45%屬於可見光波段,PEC系統中之光觸媒材料,也以朝製備可見光應答型光觸媒之方…